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米乐M6官方网页版在线登录半导体废气处理催化燃烧设备

作者:小编 时间:2023-03-18 05:11:53 点击:

  RCO催化燃烧设备的运作原理是将有机废气通过过滤器过滤后,进入设备的活性炭吸附模块,对废气进行吸附、浓缩,再借助催化剂燃烧的方式对吸附、浓缩后的废气进行净化处理,燃烧的过程为无焰燃烧,燃烧后的废气会转化为二氧化碳和水。在催化氧化炉内被加热到250~300℃的有机废气在贵金属催化剂的作用下发生无焰燃烧,有机废气被氧化分解成二氧化碳和水,达到废气处理的目的,废气处理后的洁净气体经烟囱达标排放。燃烧后的热空气通过换热器进行降温,降温后的气体部分排放,部分用于活性炭脱附再生以达到废热利用和节能的目的。

  半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理好?半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有大量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是具有挥发性的VOCs。VOCs污染物为有机化合物,在浓度较高且有火花或静电情况下,极易发生闪爆现象。半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等,而这些都是属于有害的污染物。半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理设备的选择:喷淋塔:喷淋塔可分为酸液喷淋塔、碱液喷淋塔、循环水喷淋塔,因在进行废气处理的过程中会涉及到酸碱等不同的污染物质,设备会根据废气的性质、采用的处理工艺将设备的材料划分为玻璃钢喷淋塔、pp喷淋塔、不锈钢喷淋塔。喷淋塔对各种腐蚀性气体净化处理效果明显,能有效去除氯化氢气体(HCl)、氟化氢气体(HF)、氨气(NH3)、硫酸雾(H2SO4)、铬酸雾(CrO3)、氰氢酸气体(HCN)、碱蒸气(NaOH)、(HCHO)等水溶性气体。东莞喷淋塔废气净化效率高、操作管理简单、使用寿命长,净化处理后的酸碱废气排放达到国家排放标准。

  热空气输送到混流箱,进行空气中和,当热空气在混流箱内温度达到特定温度时,空气通过下端的输送管输送到活性炭的吸附室内,催化燃烧设备对活性炭进行脱附,活性炭室内温度慢慢升高,活性炭内有机废气分解出来,通过上面的管道回到催化装置内。与催化剂反应生成CO2和H2O,脱附离心风机开启,将暖空气向吸咐箱吹送,暖空气传至混流箱,开展气体中合,但暖空气在混流箱里溫度_过特殊溫度时,气体根据下web端输送管道传至活性碳的吸咐房间内,对活性碳开展脱附,活性碳室温渐渐地上升,活性碳内工业废气溶解出去,根据上边的管路返回催化装置内。与金属催化剂反应转化成CO2和H2O,一起造成很多的发热量。此刻发热管会依据室温全自动调整关掉1组或两组发热管,节约资源,金属催化剂表层常有瓷器储热体,能有效的锁住热量,降低能耗。

  RCO催化燃烧装置也称催化燃烧废气处理设备,催化废气处理设备,蓄热式催化燃烧设备,是在催化剂的作用下,使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳,达到治理的目的。催化燃烧过程是在催化燃烧有机废气处理设备中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200~400℃,再进入燃烧室,通过催化剂床时,碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能,碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化,产生二氧化碳和水。

  2.设备启动,仅需15~30分钟升温至起燃温度,耗能仅为风机功率,浓度较低时自动补偿。

  3.催化燃烧处理设备采用当今先进的贵金属钯、铂浸渍的蜂窝状陶瓷载体催化剂,比表面积大,阻力小,净化率高。

  9.占地面积小:仅为同行业同类产品的70%~80%,且设备基础无特殊要求。

  用材独特、性能稳定、操作简便、节能省力、安全可靠、无二次污染,运行成本低。脱附时间和脱附周期可根据使用情况而定,一般一个炭箱脱附时间5-10小时,周期为10-15天脱附一次。吸附有机物废气的活性碳床,可用催化燃烧后的废气进行脱附再生,脱附后的气体再送入催化燃烧设备进行净化,无需外加能量,运转费用低,节能效果显著。催化燃烧室采用陶瓷蜂窝体的贵金属催化剂,阻力小、活性高,当有机蒸汽浓度达到2000PPM以上时,可维持自燃,全自动控制,生产流程及应用领域:该吸咐萃取-储热式催化燃烧装置机器设备(RCO)是由3个模块吸附器构成,可一起开展吸咐实际操作也可单独开展吸咐实际操作,把风大量、较低浓度的的工业废气萃取成小总流量、高浓的工业废气。

  废气加热采用无污染、运行稳定的电加热方式,电加热室内的总功率为24kw,电热管分成二组、由电控箱自动控制,当废气温度低于一定温度时(可设定)电热管会自动接通电源给废气加热,当废气温度高于一定温度时(可设定)电热管会自动断开一组、二组或全部电源以节约电能及达到安全运行。米乐M6官方网页版在线登录米乐M6官方网页版在线登录