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米乐M6官方网页版在线登录半导体行业废气处理系统有机废气和酸碱治理方案

作者:小编 时间:2023-03-05 05:08:11 点击:

  山东某半导体公司是一家专注于碳化硅单晶衬底材料研发、生产和销售的科技型企业。在半导体工艺制程中,需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气。半导体企业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、米乐M6官方网页版在线登录砷排和一般排气等。

  在做废气处理设备前段,需要对半导体生产车间的废气进行收集,通过通风管道系统进入废气处理设备,才能有效治理;

  前段酸碱废气处理:采用两段喷淋塔对酸碱废气进行预处理,同时去除废气内含的粉尘有效治理;

  酸性废气采用碱液洗涤塔,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,酸性废气经过净化后,米乐M6官方网页版在线登录碱性废气进入第二段酸液洗涤塔,与稀硫酸吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,碱性废气经过净化

  怡帆机电定制的废气系统处理方案,VOCs排放浓度符合当地的排放标准,在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题,性价比更高,且无二次污染。