低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染物介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。
（2）高效：高效捕集不同粒径的油雾粒子，净化效率高，从根本上解决了污染转移问题。
（3）灵活：净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作调整。
（5）先进：电源控制系统可自动调节电场强度，使净化设备在长期运行后仍保持较高的净化率。
（6）安全：安全系统设计周密，检修门被打开，高压电源即自动切断；高压电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元体，使用安全可靠；采用了大型机所运用的闪络跟踪技术，可配备远程控制系统，大大提高运行的安全系数。
（8）节能：使用寿命长，节能高效(比传统技术节能50%以上)、占地面积小。
6、安全可靠，价格合理。适用于喷漆，橡胶制品，印刷等行业生产过程中所产生的苯，甲苯，二甲苯和烃类，醚类等有害气体。
